电容式传感器是以各种类型的电容器为传感元件，将被测物理量或机械量转换成电容变化的转换装置，实际上是具有可变参数的电容器。接下来，让我们看看电容式传感器的优点。
1.温度稳定性好。电容传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，由于发热极小，影响稳定性很小。电阻传感器有铜损伤，容易发热，产生零漂移。
2.结构简单。电容式传感器结构简单，易于制造和保证高精度，可以做得非常小，实现一些特殊的测量;可以在高温、强辐射、强磁场等恶劣环境下工作，可以承受很大的温度变化、高压、高冲击、过载等。可以测量超高低压差，也可以测量磁性工作。
3.良好的动态响应。由于带电极板之间的静电引力很小(约10^(-5)N)，电容式传感器所需的作用能量很小，而且由于其可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，所以其固有频率很高，动态响应时间很短，可以在几兆赫兹的频率下工作，尤其适合动态测量。因为它的介质损耗小，可以用更高的频率供电，所以系统的工作频率很高。可以用来测量高速变化的参数。
可非接触式测量，灵敏度高。可以非接触式测量旋转轴的振动或偏心率，小滚珠轴承的径向间隙等。采用非接触式测量时，电容式传感器具有平均效应，可减少工件表面粗糙度等对测量的影响。
除上述优点外，电容式传感器还具有带电极板间静电引力小、所需输入力和输入能量小等特点，因此可测量极低的压力、力和极小的加速度、位移等，可做得非常灵敏，分辨率高，可感应0.01μm甚至更小的位移。由于其空气等介质损耗小，采用差动结构，连接到桥式时产生的零残留极小，因此允许电路高倍放大，使仪器灵敏度高。
